凍結乾燥装置

  1. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  2. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  3. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  4. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　
  5. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  6. 高温恒温槽　ハイテンプオーブン – エスペック…

  7. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…
  8. ドライポンプ／メカブポンプ・樫山／アルバック・SD60V II／PMB001CM

    ドライポンプ／メカブポンプ　樫山製／アルバック製<…
  9. デジタルマイクロスコープ・キーエンス・VHX-100F(M210108A17)

    デジタルマイクロスコープ　キーエンス製<br>型式：V…

  10. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  1. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  2. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…
  3. チラー（外部開放系循環装置）・ヤマト科学・品名：クールライン・型式：CLH610

    チラー（外部開放系循環装置）ヤマト科学製<br>クー…

  4. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  5. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  6. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  7. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  8. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  9. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  10. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S
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