ピエゾステージ

  1. プラズマクリーナー　サムコ　PC-300

  2. スパッタ装置（3元多層式）　アネルバ　L-250S-FH

  3. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-151/EI-151G（コ…

  4. 超低温フリーザー　パナソニック　MDF-1156AT-[M2411…

  5. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  6. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  7. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  8. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  9. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  10. 低温恒温槽　エスペック製　MC-711T

  1. イオンゲージ　電離真空計　アネルバ　M-430HG

  2. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  3. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…
  4. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  5. 露光装置　日本電池　MAN250NLJ/MRL250SM

  6. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  7. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  8. ターボ分子ポンプ　BOC EDWARDS　STP-300

  9. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  10. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]
2026年5月
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