ピエゾステージ

  1. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  2. ドライポンプ　Kashiyama　NeoDry15E

  3. 3Ｄプリンター　Stratasys　uPrint SE Plus

  4. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  5. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  6. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  7. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  8. 恒温槽　エスペック　PH-402

  9. 光学防振台　明立精機　RHS-1209K4CL

  10. ヒーター式インキュベーター　PHC　MIR-H163-PJ

  1. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  2. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  3. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  4. ターボ分子ポンプ　LEYBOLD　TURBOVAC 361　（コント…

  5. ロータリポンプ　エドワーズ　E2M40

  6. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  7. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  8. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-1J

  9. スクリュウーコンプレッサー　コベルコ技研　SUKESAN…

  10. 走査電子顕微鏡（卓上SEM）日立ハイテク　Miniscope …
2026年7月
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