MEMS
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6軸ロボットアーム ファナック製（FANUC）LR Mate 200iD/7…
メーカー：ファナック（FANUC） 型式：LR Mate 200iD/7L未来産業技研では産業用ロボットのSDG'sに積極的に取り組んでいます…
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ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ Messtek製 M26107/M2…
メーカー：Messtek 型式：M26107/M25-10/MWP-A30XCAピエゾステージ・ピエゾドライバー・ピエゾコントローラー水晶やある種の…
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スピンコーター ミカサ製 MS-A100-[M230703A01]
メーカー：ミカサ 型式：MS-A100スピンコータとは、平滑な基材の上に塗料を均一な厚みで塗布し薄膜を作製するものです。特に…
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ディスペンサーコントローラー 岩下エンジニアリング AD9000 ̵…
メーカー：岩下エンジニアリング 型式：AD9000ディスペンサーとは、液体材料を精密に定量吐出するための機器、液体定量吐出…
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非接触形状測定装置 ソニープレシジョン製<br>型式…
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デジタルマイクロスコープ キーエンス製<br>型式：V…
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スクロールポンプ アルバック製（Ulvac）DIS-251
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真空排気システム 大阪真空製 TG220FVAB PUMPING U…
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スクロールポンプ アネスト岩田 DVSL-500CS1-[M231…
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ドライエッチング装置 ナノテック製<br>型式：NCP-4…
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ドライポンプ アルバック製 LR90-[M240419A01]
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冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製 RKS15…
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イオンミリング装置 日立製（HITACHI）E-3500 [M230…
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冷却水循環装置（空冷チラー）EYELA製（東京理化器械…
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バイオクリーンベンチ 日本医科器械<br>型式：VS-16…
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プラズマクリーナー ムサシノ電子製（FISCHIONE） …
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クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製 S…
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パーツフィーダー ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03
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マスクアライナー 露光装置 ミカサ製 MA-20-[M240…
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紫外線照射装置（UV照射装置） アイグラフィック製<…
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チラー（外部開放系循環装置）ヤマト科学製<br>クー…
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ウェハー表面検査装置 Micro MAX System ビジョンサ…
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超純水製造装置 ミリポア製 Mill-Q Integral 5 -[M…
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SEM 走査型電子顕微鏡（3Dリアルサーフェスビュー顕…
