（株）未来産業技術研究所

• spincoater

関連記事

1. 

   スクリーン印刷機　ミナミ製
   型式：MK-MarK Ⅱ （M210326A01）

2. 

   ダイソーター（チップ移載装置）　アクテス京三製
   型式：ACT-1000 （M201031A02）　　　　　　　　　　

3. 

   紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製
   型式：UB011-5A,B MH (M210119A02)

4. 

   真空蒸着装置　JEOL製（日本電子）
   型式：JEE-420T （M201126A01）

5. 

   プラズマCVD装置　サムコ製
   型式：PD-220 （M210320A10）

6. 

   マスクアライナー（露光装置）　ミカサ製
   型式：MA-10 （M210408A01）　　　　　　　　　　　　　

7. 

   真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製
   型式：SVC-720 （M200316A04）

8. 

   Thickness Monitor　日本電子製（JOEL）
   型式：FC-TM10

9. 

   ピーリングテスター（剥離強度試験器）
   日本ガータ製　型式：NPT-100 （M210303A04）

10. 

    パーツフィーダー　ダイシン製
    型式：D-15KFW-03

11. 

    電子線マイクロアナライザー（EPMA）島津製
    型式：EPMA-1600 （M210325A01）

12. 

    イオンスパッタ装置　日立製
    型式：E-1010 (M201126A14)

13. 

    オートファインコーター　日本電子製（JOEL）
    型式：JFC-1600

14. 

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製
    型式：YP21-T07 (M210108A12)

15. 

    ウェハーローダー　ニコン顕微鏡
    型式NWL-641 (M210114A12)