電離真空計　イオンゲージ　アルバック　GI-TL3

メーカー：アルバック　ulvac
型式：GI-TL3
真空計-測定子　セット販売

気体をイオン化させ、流れる電流を測定することによって圧力を求める真空計の一種である。電子が飛び出すフィラメント、グリッド、イオンを集めるコレクタより構成される。 フィラメントより飛び出した電子は何度か往復しながらグリッドへ向かうが、 その過程で電子は気体をイオン化していく。 当然気体の圧力が高いほうがイオン化される分子、原子が多い事になる。 イオン化された気体は -にバイアスされたコレクタに流れ込み、その電流を測定することによって 間接的に圧力を測定している。

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キーワード（メーカー）：アルバック・MKS・大亜真空・インフィコン・アネルバ・VISTA・佐藤真空・プロダクトアイ
キーワード（品名）：イオンゲージ・バラトロン真空計・真空蒸着機・ロータリーポンプ・スクロールポンプ・薄膜・真空排気

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