株式会社未来産業技術研究所

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1. 

   スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

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2. 

   ドライポンプ　EBARA（荏原製）A07V-[M220408A08]

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   • 真空ポンプ
3. 

   ロータリーポンプ　アルバック製（ulvac）DV301-[M220303A20]

   • クライオポンプ
   • 真空ポンプ
4. 

   ドライポンプ　樫山製　NeoDry-36CU-026-[M220718A01]]

   • 油拡散ポンプ
   • 真空ポンプ
5. 

   ターボ分子ポンプ（TMP）ファイファー製　TMU064/TCP121-[M220930A11]

   • 油拡散ポンプ
   • 真空ポンプ
6. 

   ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081-[M230411A01]

   • 油拡散ポンプ
   • 真空ポンプ
7. 

   スクロールポンプ　アルバック製
   型式：DIS-500

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   • 真空ポンプ
8. 

   ドライポンプ／メカブポンプ　樫山製／アルバック製
   型式：SD60V II／PMB001CM 　（M210114A16）

   • メカニカルブースターポンプ
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