集束イオンビーム顕微鏡

  1. 真空蒸着装置　アルバック製　VPC-410-[M240325A01]

  2. イオンミリング装置　日立製（HITACHI）E-3500 [M230…

  3. マイクロ波電源　IDX製　IMG-2503S-[M230622A03]
  4. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…

  5. マスクアライナー（露光装置）canonキャノン製　PLA-…

  6. スピンドライヤー　コクサン製（国産遠心機）　H-840…

  7. ターボ分子ポンプ（TMP）ファイファー製　TMU064/TCP…

  8. ドライポンプ　アルバック製　LR90-[M240419A01]

  9. 金型温調機　カワタ製　TW-75LD-[M230317A01]
  10. クリーンベンチ_日立_PCV1915BE2

    クリーンベンチ　日立製<br>型式；PCV1915BE2 （M210…
  1. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…
  2. SEM 電子顕微鏡

    SEM 走査型電子顕微鏡（3Dリアルサーフェスビュー顕…

  3. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  4. 超低温フリーザー　日本フリーザー製　CLN-35C-[M230…

  5. エアーコンプレッサー　日立製　CSP-22V5ARⅡ-[M24020…
  6. DC電源・菊水電子工業・PAD10-1000LET（M210303A05）

    DC電源　菊水電子製　型式：PAD16-1000LET （M210303…

  7. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  8. プレス機　ミカドテクノス製　MKP-5000D-[M231120A24]
  9. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  10. イオンミリング装置　日立製（HITACHI）E-3500 [M230…
2024年7月
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