sputtering

  1. クイックコーター(スパッタ装置)サンユー電子製 SC-701

  2. スパッタ装置(RFスパッタ)アネルバ製(ANELVA)SPF-430H – [M221028A01]

  3. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ Messtek製 M26107/M25-10/MWP-A30XCA

  4. マイクロ波電源 IDX製 IMG-2502-[M230622A05]

  5. イオンスパッタ装置 真空デバイス製 MSP-1S-[M221221A05]