ヘリウムリークディテクター 島津製作所 MSE-3200R-[M211218A01]


メーカー:SHIMADZU 型式:MSE-3200R


検出感度:10-12~100Pa・m3/s[He]  最大ポート圧力:1000Pa  
180°偏向形(磁場偏向磁束密度0.17T)イットリアコートイリジウムフィラメント(2本内蔵)
排気速度:モレキュラードラッグポンプ(排気構造 33L/s)FP(30L/min)RP(300L/min)
真空計:ピラニー真空計  テストポート口:NW25KF


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キーワード(メーカー)インフィコン・アネルバ・アルバック・ファイファー・アルカテル・昭和真空
キーワード(品名)リークディテクター・真空蒸着機・スパッタ装置・CVD装置・半導体

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