メーカー：IEI 型式：FDS211036
ポッティング装置／樹脂塗布装置
塗布装置とは、製品や材料に薬品などを塗布するための装置です。一般的な塗布装置は、塗布する対象物の形状や塗布する薬品と塗布の目的によって塗布方法が異なるため、さまざまな用途に応じてロールコーターやスピンコーター、ディップコーター、スプレー塗布や本機のようなディスペンス塗布など、さまざまな塗布方法が用いられています。近年では、半導体製造分野やFPD (フラットパネルディスプレイ) 製造分野、太陽電池や二次電池製造分野などの工業分野においては、精密な塗布精度が求められるため、塗布技術の向上と共に塗布装置が飛躍的に進化しています。
ディスペンス塗布装置は、比較的精密な線状塗布が求められる状況で使用されます。塗布量のコントロールが可能なディスペンスー機構を備え、精密な塗布が要求される場合には、ロボットを用いることで塗布量の精度と正確性を兼ね備えた塗布方式を採用する装置です。 塗布速度などは劣りますが、細かいところへのスポット塗布や複雑な形状の塗膜が形成可能です。
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キーワード（メーカー）武蔵エンジニアリング・岩下エンジニアリング・エース技研・東レエンジニアリング・SCREEN
キーワード（品名）露光装置・マスクアライナー・スピンコーター・ロールコーター・電子デバイス・半導体・ICチップ
