ポッティング

  1. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  2. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  3. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]
  4. イオンスパッタ装置、日立、E1030

    イオンスパッタ装置　日立製　E-1030
  5. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  6. RF電源　RF POWER PRODUCTS　RF5S

  7. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-95…

  8. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-4KP

  9. 恒温恒湿槽　エスペック　PR-3J

  10. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114

  1. 液晶重ね合わせ装置　中央精機　LCM-ST

  2. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  3. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-500B

  4. ドライポンプ　BOC EDWARDS エドワーズ　QDP40

  5. 露光装置　日本電池　MAN250NLJ/MRL250SM

  6. 恒温恒湿槽　ナガノサイエンス　NST-S800

  7. リアルタイムスペクトラムアナライザ　テクトロニク…

  8. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  9. レーザー装置-YAGレーザー　Spectra Physics　Millen…
  10. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…
2026年6月
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