塗布装置

  1. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  2. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  3. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  4. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  5. ターボ分子ポンプ（TMP）ファイファー製　TMU064/TCP…
  6. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …
  7. デジタルリンクアナライザー・ANDO安藤・AE1421（M210114A05）

    デジタルリンクアナライザー　ANDO製（安藤）<br>型…
  8. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  9. 冷却水循環装置（空冷チラー）EYELA製（東京理化器械…

  10. 超音波洗浄装置-2層式　カイジョー　HCW-202-25R
  1. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…

  2. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…
  3. DC電源・菊水電子工業・PAD10-1000LET（M210303A05）

    DC電源　菊水電子製　型式：PAD16-1000LET （M210303…
  4. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…
  5. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…

  6. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]
  7. チラー（外部開放系循環装置）・ヤマト科学・品名：クールライン・型式：CLH610

    チラー（外部開放系循環装置）ヤマト科学製<br>クー…

  8. 超音波洗浄装置　カイジョー　HCW-111-25

  9. プラズマ窒化装置　ワイエス工業製-[M240517A03]

  10. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…
2025年3月
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