塗布ロボット

  1. デジタルマイクロスコープ・キーエンス・VHX-100F(M210108A17)

    デジタルマイクロスコープ　キーエンス製<br>型式：V…

  2. マスクアライナー（露光装置）canonキャノン製　PLA-…

  3. 金型温調機　カワタ製　TW-75LD-[M230317A01]

  4. 冷却水循環装置（空冷チラー）EYELA製（東京理化器械…

  5. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…

  6. クイックコーター　サンユー電子製　SC-701-[M240310…

  7. マイクロ波電源　IDX製　IMG-2503S-[M230622A03]

  8. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  9. プラズマ窒化装置　ワイエス工業製-[M240517A03]

  10. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…
  1. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…
  2. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…
  3. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…
  4. チラー（外部開放系循環装置）・ヤマト科学・品名：クールライン・型式：CLH610

    チラー（外部開放系循環装置）ヤマト科学製<br>クー…
  5. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  6. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  7. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  8. 超低温フリーザー　日本フリーザー製　CLN-35C-[M230…
  9. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03

  10. 真空蒸着装置　アルバック製　VPC-410-[M240325A01]
2024年7月
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