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スカラロボット（4軸）ヤマハ製 YK600XG
マニュアルプローバー 日本マイクロニクス 705B-[M…
スクロールポンプ アルバック製（Ulvac）DIS-251
6軸ロボットアーム ファナック製（FANUC）LR Mate 2…
パーティクルカウンター リオン製<br>型式：KM-33 …
定温恒温槽（防爆仕様）ヤマト科学 DKN812-[M240104…
多関節産業ロボット（6軸）ファナック製 型式M-10iA…
冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製 RKE-1…
冷却水循環装置（空冷チラー）EYELA製（東京理化器械…
イオンスパッタ装置 日立製<br>型式：E-1010 (M2011…
クライオポンプ アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…
産業用多関節ロボット 三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…
紫外線照射装置（UV照射装置） アイグラフィック製<…
クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製 S…
マスクアライナー 露光装置 ミカサ製 MA-20-[M240…
真空蒸着装置 日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400
マニュアルプローバー 日本マイクロニクス 705B-[M…
マイクロ波電源 アドテック製 ARP Series-[M230622…
バイオクリーンベンチ 日本医科器械<br>型式：VS-16…
プラズマ処理装置 神港精機 POEM
