FE-SEM

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  1. ターボ分子ポンプ　LEYBOLD　TURBOVAC 361　（コント…

  2. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  3. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  4. RF電源　RFPP　RF10S

  5. インテリジェントX線測定器　東洋メテック　RaySafe …

  6. デジタル・エレクトロメーターDIGTAL ELECTROMETER　…

  7. 遠心エバポレーター　アズワン　CVE-2AS

  8. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  9. ウェハーマウンター　日東電工　M286N

  10. プラズマ処理装置　神港精機　POEM
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