FE-SEM

  1. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  2. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  3. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  4. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  5. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  6. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  7. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020-[M22…

  8. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  9. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530
  10. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  1. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  2. FE-SEM 走査型電子顕微鏡　JEOL 日本電子　JSM-6700F

  3. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  4. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  5. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7
  6. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  7. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  8. オートファインコーター（スパッタ装置）日本電子(JE…
  9. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03

  10. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…
2026年5月
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