電界放射型電子顕微鏡

  1. FE-SEM 走査型電子顕微鏡　JEOL 日本電子　JSM-6700F

  2. 高度加速寿命試験装置（HAST装置）エスペック　EHS-4…

  3. 超音波洗浄装置-2層式　カイジョー　HCW-202-25R

  4. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKE-1…
  5. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製　E-1010

  6. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  7. 複合ガス検知器　MultiRAE IR（Multi-GAS MONITOR）…

  8. 真空オーブン　ヤマト科学　ADP200

  9. SYNCHROTRACK　LOCK-IN AMPLIFIER/VECTOR VOLTMETER…

  10. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  1. RF電源　ADVANCED ENERGY　MDX pinnacle 10kW

  2. 電気マッフル炉　島津製作所　MP-15

  3. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  4. RF電源　ADVANCED ENERGY　MDX pinnacle 12kW
  5. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…

  6. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  7. レーザー装置-YAGレーザー　Spectra Physics　Millen…

  8. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  9. クリーンベンチ　日本エアーテック　KTV-840KS

  10. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　TMH521/TC600
2026年6月
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