メーカー：ヤマト科学 型式：PR510
プラズマリアクター プラズマ処理装置
（マスフローメーター仕様）
バレル式高周波低温プラズマでウェハーのレジストに。低温プラズマ、バレル型の定番の装置です。オートマッチング機構の標準装備で操作性・安全性を高めた、コンパクトタイプのバレル型プラズマ処理装置です。フォトレジストの除去、部品の洗浄、界面活性処理、マイクロ研磨、ウェハー、ガラス基板に対応
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キーワード（メーカー）真空デバイス・サンユー電子・サムコ・昭和真空・ノードソン・日立ハイテク・ムサシノ電子
キーワード（品名）薄膜作成・半導体ウェハー・半導体チップ・プリント基板・プラズマ処理・Au・Al・スパッタ装置
株式会社未来産業技術研究所のSDGsに関する取り組み
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