プラズマ処理装置

  1. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…

  2. SYNCHROTRACK　LOCK-IN AMPLIFIER/VECTOR VOLTMETER…

  3. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  4. EPMA 電子線マイクロアナライザー　島津製作所　EPMA…

  5. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  6. オイルフリースクロールコンプレッサー　コベルコ　E…

  7. 真空オーブン　ヤマト科学　ADP200

  8. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  9. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　HiPace700/TC400

  10. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  1. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  2. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  3. RF電源　ADVANCED ENERGY　MDX pinnacle 10kW

  4. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-1J

  5. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  6. ターボ分子ポンプ　BOC EDWARDS　STP-300

  7. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020

  8. デジタル・エレクトロメーターDIGTAL ELECTROMETER　…

  9. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  10. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …
2026年7月
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