プラズマリアクター

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  2. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  3. マイクロ波発振器／電源　IDX　IMG-5202B

  4. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  5. 光学防振台　明立精機　RHS-1209K4CL

  6. SYNCHROTRACK　LOCK-IN AMPLIFIER/VECTOR VOLTMETER…

  7. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-1J

  8. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  9. 高度加速寿命試験装置（HAST装置）エスペック　EHS-4…

  10. RF電源　RF POWER PRODUCTS　RF5S

  1. サーモカップル真空計　アネルバ　MTG-012

  2. オゾンガスモニター　APPLICS　OZG-EM-010K

  3. ウェハーマウンター　日東電工　M286N

  4. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…
  5. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  6. RF電源　ADVANCED ENERGY　MDX pinnacle 10kW

  7. 検査用光源ユニット　ウシオ電機　Optical Modulex　…

  8. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  9. クリーンベンチ　日本エアーテック　KTV-840KS

  10. ターボ分子ポンプ　BOC EDWARDS　STP-300
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