プラズマアッシャー

  1. 超音波洗浄装置-2層式　カイジョー　HCW-202-25R

  2. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…
  3. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  4. 真空排気システム　大阪真空製　TG220FVAB PUMPING U…

  5. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  6. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  7. VOCセンサー　理研計器　VOC-121H

  8. 光学防振台　明立精機　RHS-1209K4CL

  9. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…

  10. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  1. オートファインコーター（スパッタ装置）日本電子(JE…

  2. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  3. ロータリーエバポレーター　EYELA　N-1100　付属機器…

  4. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  5. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  6. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  7. 四重極質量分析計（Q-MASS）　ファイファー　 QME200

  8. 露光装置　日本電池　MAN250NLJ/MRL250SM

  9. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　TMH261/TC600

  10. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020
2026年10月
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