プラズマクリーナー

  1. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…

  2. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  3. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  4. 産業用ロボットアーム（6軸多関節ロボット）デンソー…

  5. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  6. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]

  7. RF電源　RFPP　RF20S

  8. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  9. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020

  10. インパルスノイズ試験器　ノイズ研究所-NoiseKen　IN…

  1. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  2. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  3. ドライポンプ　Kashiyama　NeoDry15E
  4. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03

  5. RF電源　ADVANCED ENERGY　MDX pinnacle 10kW

  6. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　HiPace700/TC400

  7. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020

  8. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　TMH261/TC600

  9. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  10. RF電源　ADVANCED ENERGY　MDX pinnacle 12kW
2026年6月
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