プラズマクリーナー

  1. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKE-1…

  2. 光学ステージ　各種取り扱い　シグマ光機　駿河精機…
  3. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製　E-1010
  4. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  5. ヒーター式インキュベーター　PHC　MIR-H163-PJ

  6. ドライポンプ　Kashiyama　NeoDry15E

  7. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  8. 恒温槽　エスペック　PH-402

  9. スピンコーター　アクティブ　ACT-220AⅡ

  10. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…

  1. RF電源　高周波電源　アドバンスエナジー　RFX-600A

  2. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  3. 真空凍結乾燥機　日本フリーザー　BFD-6F2

  4. 恒温恒湿槽　ナガノサイエンス　NST-S800

  5. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  6. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  7. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  8. ドライポンプ　Kashiyama　NeoDry15E

  9. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  10. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…
2026年8月
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