卓上電子顕微鏡 キーエンス VHX-D510

試料表面に電子線を照射し、反射した電子線を像として映し出し、観察する装置。試料室(チャンバー)内を真空状態にし、超深度レンズ(電子ビームの照射)により試料を撮影します。光学レンズと超深度レンズの画像を合成し、精細な画像を 得ることが可能です。

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キーワード(メーカー)ニコン・日立ハイテク・日本電子・サーモフィッシャー・島津製作所・キーエンス・カールツァイス
キーワード(品名)電子顕微鏡・SEM・電子線マイクロアナライザー・集束イオンビーム・FIB・原子間力顕微鏡・AFM・プローブ顕微鏡

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