インプリント装置
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イオンスパッタ装置 日立製 E-1010
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非接触形状測定装置 ソニープレシジョン製<br>型式…
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真空排気装置 アルバック機工 VPC-050
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ターボ分子ポンプ 島津製作所 TMP-151/EI-151G(コ…
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ドライポンプ 樫山 NeoDry36E
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スパッタ装置(3元多層式) アネルバ L-250S-FH
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3Dプリンター Stratasys uPrint SE Plus
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レーザー顕微鏡 キーエンス VK-9510
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ターボ分子ポンプ 大阪真空 TG1003VW/TC1003(コ…
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カーボンコーター 日本電子(JEOL) JEC-530
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複合ガス検知器 MultiRAE IR(Multi-GAS MONITOR)…
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クイックコーター(スパッタ装置)サンユー電子製 S…
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バイオクリーンベンチ 日本医科器械<br>型式:VS-16…
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クイックコーター サンユー電子 SC-701
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RF電源 高周波電源 アドバンスエナジー RFX-600A
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走査電子顕微鏡(卓上SEM)日立ハイテク Miniscope …
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恒温恒湿槽 ナガノサイエンス NST-S800
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高信頼性電源(CVCC)菊水電子工業製<br>型式:PAN60…
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恒温恒湿槽 エスペック製<br>型式:PR-2KT (M20121…
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インテリジェントX線測定器 東洋メテック RaySafe …
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