ナノインプリント

  1. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  2. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…

  3. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…
  4. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…

  5. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  6. 冷却水循環装置（空冷チラー）EYELA製　CA-3110 &#82…
  7. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251
  8. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…
  9. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  10. 真空排気システム　大阪真空製　TG220FVAB PUMPING U…

  1. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  2. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…
  3. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  4. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  5. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  6. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  7. 実体顕微鏡　ニコン-Nikon　SMZ 1000
  8. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  9. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  10. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z
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