ナノインプリント

  1. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…
  2. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  3. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…
  4. デジタルマイクロスコープ・キーエンス・VHX-100F(M210108A17)

    デジタルマイクロスコープ　キーエンス製<br>型式：V…

  5. マスクアライナー（露光装置）canonキャノン製　PLA-…

  6. ターボ分子ポンプ（TMP）ファイファー製　TMU064/TCP…

  7. 真空蒸着装置　アルバック製　VPC-410-[M240325A01]

  8. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  9. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  10. イオンミリング装置　日立製（HITACHI）E-3500 [M230…

  1. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  2. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…
  3. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…
  4. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…
  5. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  6. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  7. プレス機　ミカドテクノス製　MKP-5000D-[M231120A24]
  8. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03

  9. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…
  10. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…
2024年10月
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