ナノインプリント

  1. イナートオーブン　エスペック　IPHH-202M-[M250215A…

  2. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…

  3. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…
  4. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  5. 低温恒温槽　エスペック製　MC-711T
  6. パーティクルカウンター_リオン_KC-01B

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KC-01B …

  7. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  8. 真空排気装置　アルバック機工　VPC-050

  9. 恒温恒湿槽　エスペック　PR-3J

  10. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  1. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  2. イオンゲージ　電離真空計　アネルバ　M-430HG

  3. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  4. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  5. 真空凍結乾燥機　日本フリーザー　BFD-6F2

  6. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  7. マイクロ波発振器／電源　IDX　IMG-5202B

  8. オゾンガスモニター　APPLICS　OZG-EM-010K

  9. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  10. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-4KP
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