ナノインプリント

  1. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  2. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…

  3. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  4. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…
  5. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

  6. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  7. プラズマクリーナー　サムコ　PC-300

  8. ドライポンプ　BOC EDWARDS エドワーズ　QDP40

  9. VOCセンサー　理研計器　VOC-121H

  10. 金型温調機　カワタ製　TW-75LD-[M230317A01]

  1. EPMA 電子線マイクロアナライザー　島津製作所　EPMA…

  2. 露光装置　日本電池　MAN250NLJ/MRL250SM

  3. ターボ分子ポンプ　BOC EDWARDS　STP-300

  4. RF電源　高周波電源　アドバンスエナジー　RFX-600A

  5. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…
  6. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  7. ドライポンプ　Kashiyama　NeoDry15E

  8. 四重極質量分析計（Q-MASS）　ファイファー　 QME200

  9. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  10. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…
2026年10月
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