株式会社未来産業技術研究所
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水晶振動子膜厚コントローラー アルバック CRTM-70…
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真空排気装置 アルバック機工 VPC-050
ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ Messtek製 …
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真空蒸着装置 日本電子製(JEOL)<br>型式:JEE-400
ターボ分子ポンプ PFEIFFER HiPace700/TC400
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表面粗さ測定(魔鏡/透明体測定) レイテックス製 …
ドラフトチャンバー オリエンタル技研 RCG-ST-1200E
マイクロ波発振器/電源 IDX IMG-5202B
四重極質量分析計(Q-MASS) ファイファー QME200
イオンスパッタ装置(成膜装置)日立製 E-1020
真空蒸着装置 アルバック VPC-260-[M241210A02]