株式会社未来産業技術研究所
メーカー:日立 型式:
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パーティクルカウンター リオン製<br>型式:KC-01B …
真空蒸着装置 アルバック VPC-260-[M241210A02]
プラズマ窒化装置 ワイエス工業製-[M240517A03]
マイクロ波電源 IDX製 IMG-2503S-[M230622A03]
イナートガスオーブン 光洋サーモシステム製 INH-9…
ターボ分子ポンプ(TMP)アルカテル製 5081-[M23041…
デジタルリンクアナライザー ANDO製(安藤)<br>型…
スカラロボット(4軸)ヤマハ製 YK600XG
冷却水循環装置(空冷チラー)EYELA製(東京理化器械…
6軸ロボットアーム ファナック製(FANUC)LR Mate 2…
プラズマ処理装置 神港精機 POEM
パーツフィーダー ダイシン製<br>型式:D-15KFW-03
クライオポンプ アルバック製<br>型式:CRYO-U6H (…
高信頼性電源(CVCC)菊水電子工業製<br>型式:PAN60…
真空蒸着装置 日本電子製(JEOL)<br>型式:JEE-400
産業用多関節ロボット 三菱電機製<br>型式:RV-4FL-…
クイックコーター(スパッタ装置)サンユー電子製 S…
ドライポンプ アルバック製 LR90-[M240419A01]