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冷熱衝撃試験機 エスペック製
型式:TSA-301L-W (M210330A01)
インプリント装置-真空UV式 エンジニアリングシステ…
レーザー顕微鏡(超深度形状測定顕微鏡)キーエンス…
パーティクルカウンター リオン製<br>型式:KC-01B …
多関節産業ロボット(6軸)ファナック製 型式M-10iA…
スカラロボット(4軸)ヤマハ製 YK600XG
冷却水循環装置(空冷チラー)オリオン機械製 RKE-1…
恒温恒湿槽 ナガノサイエンス NST-S800
蒸着装置 – カーボンコーター JEOL – …
高温恒温槽(イナートオーブン) ヤマト科学 DN-43…
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ターボ分子ポンプ PFEIFFER TMH521/TC600
クライオポンプ アルバック製<br>型式:CRYO-U6H (…
ターボ分子ポンプ 島津製作所 TMP-151/EI-151G(コ…
ロータリポンプ エドワーズ E2M40
イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー JEOL…
粒子径分布測定装置-粒度分布計 堀場製作所-HORIBA…
EPMA 電子線マイクロアナライザー 島津製作所 EPMA…
オゾンガスモニター APPLICS OZG-EM-010K
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