株式会社未来産業技術研究所
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恒温器(防爆仕様)エスペック ESPEC LU-114
ドラフトチャンバー オリエンタル技研 RCG-ST-1200E
空冷チラー(冷却水循環装置)EYELA製(東京理化器械…
レーザー顕微鏡 キーエンス VK-9510
スクロールポンプ アルバック製(Ulvac)DIS-251
恒温恒湿槽 アドバンテック製 THR040FA-[M240209A1…
RF電源 RFPP RF20S
ヒーター式インキュベーター PHC MIR-H163-PJ
蒸着装置 – カーボンコーター JEOL – …
スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…
高信頼性電源(CVCC)菊水電子工業製<br>型式:PAN60…
カーボンコーター 日本電子(JEOL) JEC-530
電離真空計 イオンゲージ アネルバ M-922HG 測定…
VOCセンサー 理研計器 VOC-121H
空冷チラー ユニットクーラー オリオン機械 RKS15…
オゾンガスモニター APPLICS OZG-EM-010K
露光装置 日本電池 MAN250NLJ/MRL250SM
高温恒温槽(イナートオーブン) ヤマト科学 DN-43…
ターボ分子ポンプ PFEIFFER HiPace700/TC400