冷熱衝撃試験機

  1. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114

  2. ドラフトチャンバー　オリエンタル技研　RCG-ST-1200E

  3. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  4. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510
  5. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  6. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  7. RF電源　RFPP　RF20S

  8. ヒーター式インキュベーター　PHC　MIR-H163-PJ

  9. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  10. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…
  1. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  2. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  3. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  4. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  5. VOCセンサー　理研計器　VOC-121H

  6. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  7. オゾンガスモニター　APPLICS　OZG-EM-010K

  8. 露光装置　日本電池　MAN250NLJ/MRL250SM

  9. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  10. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　HiPace700/TC400
2026年6月
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