冷熱衝撃試験機

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  10. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-250C
  1. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  2. マイクロ波電源／発振器　IDX　IMG-2503

  3. ウェハーマウンター　日東電工　M286N

  4. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  5. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  6. 恒温槽　エスペック　PH-402

  7. ターボ分子ポンプ　LEYBOLD　TURBOVAC 361　（コント…

  8. ターボ分子ポンプ　BOC EDWARDS　STP-300

  9. オートファインコーター（スパッタ装置）日本電子(JE…

  10. RF電源　高周波電源　アドバンスエナジー　RFX-600A
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