冷熱衝撃試験機

  1. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…

  2. 恒温恒湿槽　エスペック　LHL-114　

  3. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  4. FE-SEM 走査型電子顕微鏡　JEOL 日本電子　JSM-6700F

  5. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  6. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP
  7. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

  8. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  9. 真空排気装置　アルバック機工　VPC-050

  10. ダイサー　ディスコ　DAD522

  1. オートファインコーター（スパッタ装置）日本電子(JE…

  2. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  3. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  4. マイクロ波発振器／電源　IDX　IMG-5202B

  5. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  6. EPMA 電子線マイクロアナライザー　島津製作所　EPMA…

  7. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  8. プラズマクリーナー　サムコ　PC-300

  9. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  10. ウェハーマウンター　日東電工　M286N
2026年5月
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