株式会社未来産業技術研究所
メーカー:日立産機システム
型式:
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イオンスパッタ装置(成膜装置)日立製 E-1020
パーティクルカウンター リオン製<br>型式:KM-33 …
ターボ分子ポンプ PFEIFFER HiPace700/TC400
ターボ分子ポンプ(TMP)アルカテル製 5081 –…
スクロールポンプ アルバック製(Ulvac)DIS-251
ドライポンプ Kashiyama NeoDry15E
恒温器(防爆仕様)エスペック ESPEC LU-114
レーザー顕微鏡 キーエンス VK-9510
協調ロボットアーム オムロン TM5-900
粒子径分布測定装置-粒度分布計 堀場製作所-HORIBA…
レーザー装置-YAGレーザー Spectra Physics Millen…
卓上型クリーンブース アズワン ピュアスペースPS0…
恒温恒湿槽 ナガノサイエンス NST-S800
イオンスパッタ装置 日立製 E-1030
レーザー変位計 KEYENCE LK-G5000/LK-H050
液晶重ね合わせ装置 中央精機 LCM-ST
恒温恒湿槽 エスペック PL-1J
パルスユニット アルバック A2KH-25
RF電源 ADVANCED ENERGY MDX pinnacle 10kW
VOCセンサー 理研計器 VOC-121H