株式会社未来産業技術研究所
メーカー:日立産機システム
型式:
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パーティクルカウンター リオン製<br>型式:KC-01B …
赤外線ランプ加熱装置 アドバンス理工 QHC-P610CP
マイクロ波発振器/電源 IDX IMG-5202B
スパッタ装置 – オートファインコーター 日本…
走査電子顕微鏡(卓上SEM)日立ハイテク Miniscope …
ドライエッチング装置 ナノテック製<br>型式:NCP-4…
倒立顕微鏡 ニコン – Nikon ECLIPSE TS100
金型温調機 カワタ製 TW-75LD-[M230317A01]
粒子径分布測定装置-粒度分布計 堀場製作所-HORIBA…
RF電源 高周波電源 アドバンスエナジー RFX-600A
クイックコーター(スパッタ装置)サンユー電子製 S…
恒温恒湿槽 エスペック LHL-114
真空蒸着装置 日本電子製(JEOL)<br>型式:JEE-400
レーザー顕微鏡 キーエンス VK-9510
表面粗さ測定(魔鏡/透明体測定) レイテックス製 …
ターボ分子ポンプ ファイファー THM262/TC100
カーボンコーター 日本電子(JEOL) JEC-530
モーターポンプ 日機装 HT23C-B2
空冷チラー(冷却水循環装置)EYELA製(東京理化器械…
ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ バリアン HS…