エッチング装置
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ドライエッチング装置 ナノテック製
型式：NCP-400 （M2101…ナノテック社のドライエッチング装置です。
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イオンスパッタ装置 真空デバイス製 MSP-1S-[M221221A05]
メーカー：真空デバイス 型式：MSP-1S試料室：内径120mmｘ高65mm（硬質ガラス）試料台：直径50mm（フローティング方式）電極…
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ツインコーター JEOL製（日本電子）JEC-550-[M220930A01…
メーカー：JEOL日本電子 型式：JEC-550この装置は、元素分析用カーボンコーティングを行う試料作製装置です。非導伝性試料等…
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クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製 SC-708-[M23030…
メーカー：サンユー電子 型式：SC-708大型基板の全面コーティングに対応したイオンスパッタリング装置 コーティングモード/…
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プラズマ処理装置（親水化処理装置）JEOL製（日本電子）HDT-400 [M…
メーカー：日本電子（JEOL） 型式：HDT-400処理開始から完了まで全自動処理されます。 TEM（透過電子顕微鏡）やSEM（走査電…
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イオンスパッタ装置 JEOL製（サンユー電子）型式：JFC-1500-[M2…
メーカー：JEOL（サンユー電子） 型式：JFC-1500この装置は、試料表面に白金などの金属をスパッタリングする。コーティング…
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スパッタ装置（RFスパッタ）アネルバ製（ANELVA）SPF-430H-[M…
メーカー：ANELVA（アネルバ） 型式：SPF-430H基板サイズ：小片～最大4インチウェハまで1バッチに4インチウェハ3枚まで可能…
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イオンミリング装置 日立製（HITACHI）E-3500 [M230325A…
メーカー：日立（HITACHI) 型式：E-3500未来産業技研ではイオンミリング装置のSDGsに積極的に取り組んでいますイオン源：ア…
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冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製 RKS15…
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ドライポンプ 樫山製 NeoDry-36C-[M220718A01]]
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ドライポンプ 樫山製 NeoDry60EU-082C-[M231212A01]
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CO2インキュベーター サンヨー製 MCO-96-[M230718A…
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恒温恒湿槽 アドバンテック製 THR040FA-[M240209A1…
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スピンコーター ミカサ製 MS-B100-[M240310A09]
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引張圧縮試験機 ORIENTEC（オリエンテック）STA-115…
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クリーンベンチ 昭和科学 S-1300WV-[M240209A01]
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X線分析装置 SII SEA2120L-[M230512A07]
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表面粗さ計 テイラーホブソン NewForm-[M230314A01]
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バイオクリーンベンチ 日本医科器械<br>型式：VS-16…
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マイクロ波電源 アドテック製 ARP Series-[M230622…
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SEM 走査型電子顕微鏡（3Dリアルサーフェスビュー顕…
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樹脂ジェットローダー（吸引輸送装置）松井製作所<br…
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スクロールポンプ アルバック製<br>型式：DIS-500
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産業用多関節ロボット 三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…
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クライオポンプ アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…
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紫外線照射装置（UV照射装置） アイグラフィック製<…
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超低温フリーザー 日本フリーザー製 CLN-35C-[M230…
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チラー（外部開放系循環装置）ヤマト科学製<br>クー…
