Ｘ線測定器

  1. ターボ分子ポンプ　大阪真空　TG1003VW／TC1003（コ…

  2. スピンコーター　アクティブ　ACT-220AⅡ

  3. RF電源　RFPP　RF20S

  4. クイックコーター　サンユー電子　SC-701

  5. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720
  6. イオンスパッタ装置、日立、E1030

    イオンスパッタ装置　日立製　E-1030

  7. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  8. スパッタ装置（3元多層式）　アネルバ　L-250S-FH

  9. 真空オーブン　ヤマト科学　ADP200

  10. VOCセンサー　理研計器　VOC-121H

  1. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  2. ドラフトチャンバー　オリエンタル技研　RCG-ST-1200E
  3. イオンスパッタ装置、日立、E1030

    イオンスパッタ装置　日立製　E-1030

  4. マッチングコントローラー　AS-TECH　RC-11

  5. ターボ分子ポンプ　ファイファー　THM262/TC100

  6. 四重極質量分析計（Q-MASS）　ファイファー　 QME200

  7. 恒温恒湿槽　エスペック　LHL-114　

  8. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…
  9. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  10. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530
2026年5月
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