ロックインアンプ

  1. 恒温恒湿槽　ナガノサイエンス　NST-S800

  2. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-4KP

  3. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　HiPace700/TC400

  4. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  5. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…

  6. 産業用ロボットアーム（6軸多関節ロボット）デンソー…

  7. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  8. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  9. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…

  10. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  1. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  2. ターボ分子ポンプ　ファイファー　THM262/TC100

  3. 四重極質量分析計（Q-MASS）　ファイファー　 QME200

  4. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  5. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-4KP

  6. ウェハーマウンター　日東電工　M286N

  7. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  8. マイクロ波電源／発振器　IDX　IMG-2503

  9. ターボ分子ポンプ　BOC EDWARDS　STP-300

  10. 複合ガス検知器　MultiRAE IR（Multi-GAS MONITOR）…
2026年7月
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