レーザーマーカー

  1. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  2. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  3. 光学ステージ　各種取り扱い　シグマ光機　駿河精機…

  4. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　HiPace700/TC400

  5. RF電源　RF POWER PRODUCTS　RF5S

  6. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  7. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  8. ドライポンプ　Kashiyama　NeoDry15E

  9. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  10. イナートオーブン　エスペック　IPHH-202M-[M250215A…

  1. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  2. ドラフトチャンバー　オリエンタル技研　RCG-ST-1200E

  3. RF電源　ADVANCED ENERGY　MDX pinnacle 12kW

  4. 光学防振台　明立精機　RHS-1209K4CL

  5. イオンゲージ　電離真空計　アネルバ　M-430HG

  6. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  7. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  8. 真空排気装置　アルバック機工　VPC-050

  9. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  10. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530
2026年6月
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