レーザーマーカー

  1. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020
  2. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  3. 金型温調機　カワタ製　TW-75LD-[M230317A01]

  4. 光学防振台　明立精機　RHS-1209K4CL

  5. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  6. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…

  7. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  8. スピンコーター　アクティブ　ACT-220AⅡ

  9. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]

  10. 超音波洗浄装置-2層式　カイジョー　HCW-202-25R
  1. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…
  2. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  3. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  4. 電気マッフル炉　島津製作所　MP-15

  5. ターボ分子ポンプ　LEYBOLD　TURBOVAC 361　（コント…

  6. パルスユニット　アルバック　A2KH-25

  7. FE-SEM 走査型電子顕微鏡　JEOL 日本電子　JSM-6700F

  8. マイクロ波発振器／電源　IDX　IMG-5202B

  9. RF電源　ADVANCED ENERGY　MDX pinnacle 10kW

  10. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110
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