X線分析装置

  1. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  2. 真空オーブン　ヤマト科学　ADP200

  3. RF電源　RF POWER PRODUCTS　RF5S
  4. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  5. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-250C

  6. 金型温調機　カワタ製　TW-75LD-[M230317A01]

  7. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  8. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  9. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020
  10. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製　E-1010

  1. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…
  2. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  3. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  4. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  5. RF電源　高周波電源　アドバンスエナジー　RFX-600A

  6. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  7. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-500B

  8. 液晶重ね合わせ装置　中央精機　LCM-ST

  9. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  10. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…
2026年6月
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