X線分析装置

  1. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  2. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  3. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  4. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  5. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  6. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  7. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  8. 真空排気システム　大阪真空製　TG220FVAB PUMPING U…

  9. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  10. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  1. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  2. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  3. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  4. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  5. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  6. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  7. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…
  8. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  9. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  10. 恒温恒湿槽　エスペック　LHL-114　
2026年4月
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