ベクトルスコープ

  1. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  2. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  3. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  4. 超低温フリーザー　パナソニック　MDF-1156AT-[M2411…
  5. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製　E-1010

  6. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…

  7. スパッタ装置（3元多層式）　アネルバ　L-250S-FH

  8. ドライポンプ　Kashiyama　NeoDry15E

  9. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  10. オイルフリースクロールコンプレッサー　コベルコ　E…

  1. 真空排気装置　アルバック機工　VPC-050

  2. RF電源　RFPP　RF10S

  3. 超音波洗浄装置　カイジョー　HCW-111-25

  4. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　TMH261/TC600

  5. ターボ分子ポンプ　ファイファー　THM262/TC100

  6. 走査電子顕微鏡（卓上SEM）日立ハイテク　Miniscope …

  7. 恒温恒湿槽　ナガノサイエンス　NST-S800

  8. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  9. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  10. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…
2026年7月
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