1. チップマウンター（表面実装装置）JUKI製　型式：KE-760L -[M220216A02]

  2. 精密ろ過装置　AMADA製　CF100 -[M190226A02]

  3. スピンドライヤー　コクサン製（国産遠心機）　H-840SA -[M210625A03]

  4. マスクアライナー（露光装置）canonキャノン製　PLA-600F -[M221028A02]

  5. ダイサー　Discoディスコ製　DFD-2D/8 -[M221028A04]

  6. コーティング機　ANDA製　型式：iCoat-X3 -[M230325A04]

  7. ウェハーシートリング加工機　SMHP機工製　型式D-668-[M230410A03]

  8. 高周波発振器（RFプラズマ発振器）　モリエンジニアリング製　型式：SFA300EX-[M210617A11]

  9. 高圧DC電源　アルバック製（京三）SC-7017SIⅡ-[M210617A31]

  10. 膜厚コントローラー（Deposition Controller）ライボルト（インフィコン）XTC/2-[M210108A19]

  11. アングルバルブ　ulvacアルバック製　型式 VULH40-[M210617A38]

  12. 電離真空計（イオンゲージ）ulvacアルバック製 GI-M-[M220117A05]

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