1. 膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-6000-[M240906A19]

  2. スクロールポンプ　エドワーズ　XDS35i – [M240628A06]

  3. 超低温フリーザー　パナソニック　MDF-1156AT-[M241127A01]

  4. 定温恒温槽（防爆仕様）ヤマト科学　DKN812-[M240104A09]

  5. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]

  6. 真空蒸着装置　アルバック製　VPC-410-[M240325A01]

  7. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製-[M240517A03]

  8. 双腕スカラロボット-協働ロボット　川崎重工　duAro

  9. 恒温槽　日測エンジニアリング　BC-C5P-150

  10. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  11. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP150-[M240320A02]

  12. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  13. スピンコーター　ミカサ　MS-A150-[M240702A04]

  14. ポッティング機-樹脂塗布装置　IEI　FDS211036

  15. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステム　EVN-5150HP

  16. レーザー装置-YAGレーザー　Spectra Physics　Millennia Vs-[M230622A01]

  17. CO2レーザーマーカー　キーエンス　ML-9110/9100-[M240706A03]

  18. 光学定盤-防振台　明立精機　AYN-1007K4-[M240904A04]

  19. 電気化学システム　東陽テクニカ　1255B/1480-[M240906A15]

  20. プログラム交流電源　NF回路設計　ES10000S

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