表面粗さ計

  1. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  2. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  3. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  4. 光学防振台　明立精機　RHS-1209K4CL

  5. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  6. 恒温恒湿槽　エスペック　PR-3J
  7. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  8. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  9. マイクロ波電源／発振器　IDX　IMG-2503

  10. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  1. 走査電子顕微鏡（卓上SEM）日立ハイテク　Miniscope …

  2. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-4KP

  3. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…
  4. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  5. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  6. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-500B

  7. 恒温槽　エスペック　PH-402

  8. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  9. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  10. 超音波洗浄装置　カイジョー　HCW-111-25
2026年7月
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