スクリューポンプ

  1. プラズマクリーナー　サムコ　PC-300

  2. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…
  3. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…

  4. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S
  5. クリーンベンチ_日立_PCV1915BE2

    クリーンベンチ　日立製<br>型式；PCV1915BE2 （M210…

  6. ターボ分子ポンプ　LEYBOLD　MAG2000／MAG.DRIVE 200…

  7. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…

  8. プラズマ処理装置　神港精機　POEM
  9. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  10. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  1. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  2. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  3. 真空排気装置　アルバック機工　VPC-050
  4. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  5. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  6. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  7. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  8. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  9. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020-[M22…

  10. FE-SEM 走査型電子顕微鏡　JEOL 日本電子　JSM-6700F
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