メーカー:ANELVA(アネルバ) 型式:SPF-430H
基板サイズ:小片~最大4インチウェハまで
1バッチに4インチウェハ3枚まで可能
在庫状況,販売価格,詳細写真・仕様などはこちらからお問い合わせください。 メールによるお問い合わせはこちらから。
キーワード(メーカー)サンユー電子・JEOL・真空デバイス・日立・アルバック・アネルバ・昭和真空
キーワード(品名)プラズマアッシャー・エッチング・イオンミリング・薄膜・スパッタ・アッシング・表面処理
メーカー:ANELVA(アネルバ) 型式:SPF-430H
基板サイズ:小片~最大4インチウェハまで
1バッチに4インチウェハ3枚まで可能
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キーワード(品名)プラズマアッシャー・エッチング・イオンミリング・薄膜・スパッタ・アッシング・表面処理