メーカー：ANELVA（アネルバ） 型式：SPF-430H
基板サイズ：小片～最大4インチウェハまで
1バッチに4インチウェハ3枚まで可能
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キーワード（メーカー）サンユー電子・JEOL・真空デバイス・日立・アルバック・アネルバ・昭和真空
キーワード（品名）プラズマアッシャー・エッチング・イオンミリング・薄膜・スパッタ・アッシング・表面処理
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