メーカー：ANELVA（アネルバ） 型式：SPF-430H
基板サイズ：小片～最大4インチウェハまで
1バッチに4インチウェハ3枚まで可能
在庫状況,販売価格,詳細写真・仕様などはこちらからお問い合わせください。 メールによるお問い合わせはこちらから。
キーワード（メーカー）サンユー電子・JEOL・真空デバイス・日立・アルバック・アネルバ・昭和真空
キーワード（品名）プラズマアッシャー・エッチング・イオンミリング・薄膜・スパッタ・アッシング・表面処理
株式会社未来産業技術研究所のSDGsに関する取り組み
不要になった産業機器を中古機として有効利用しましょう
表面研磨機 BUEHLER MetaServ250
クリーンベンチ 日立製<br>型式；PCV1915BE2 （M210…
表面性試験機 HEIDON TYPE:14FW
冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械 RKED220…
バイオクリーンベンチ ESCO BCB-4E7
パーティクルカウンター リオン製<br>型式：KM-33 …
6軸ロボットアーム ファナック製（FANUC）LR Mate 2…
ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製 5081-[M23041…
ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ Messtek製 …
プラズマ処理装置 神港精機 POEM
真空蒸着装置 アルバック VPC-260-[M241210A02]
スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…
AFM – 原子間力顕微鏡 SII（現；日立ハイテク…
産業用多関節ロボット 三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…
電離真空計 イオンゲージ アネルバ M-922HG 測定…
反射分光膜厚測定装置 大塚電子 FE-3000
粒子径分布測定装置-粒度分布計 堀場製作所-HORIBA…
プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…
マイクロ波電源 アドテック製 ARP Series-[M230622…
ウェハー表面検査装置 Micro MAX System ビジョンサ…
