スパッタ装置（RFスパッタ）アネルバ製（ANELVA）SPF-430H – [M221028A01]

メーカー：ANELVA（アネルバ）　型式：SPF-430H

基板サイズ：小片～最大4インチウェハまで
1バッチに4インチウェハ3枚まで可能

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https://product-i.net/vacuum/index.html

キーワード（メーカー）サンユー電子・JEOL・真空デバイス・日立・アルバック・アネルバ・昭和真空
キーワード（品名）プラズマアッシャー・エッチング・イオンミリング・薄膜・スパッタ・アッシング・表面処理

株式会社未来産業技術研究所のSDGsに関する取り組み
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