メーカー：大阪真空 型式：TG220FVAB PUMPING UNIT
メインポンプ（ターボ分子ポンプ）・補助ポンプ（油回転真空ポンプ）・バルブ配管・電気系などの必要機器をコンパクトに収納した、小型の高真空排気装置です。
真空排気装置、真空排気システム、真空排気ユニット、真空排気セットともいう。
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キーワード（メーカー）真空デバイス・大阪真空・佐藤真空・VISTA・アネルバ・アルバック・プロダクトアイ
キーワード（品名）真空蒸着・CVD装置・スパッタ装置・半導体ウェハー・半導体チップ・プリント基板
