メーカー：大阪真空 型式：TG220FVAB PUMPING UNITメインポンプ（ターボ分子ポンプ）・補助ポンプ（油回転真空ポンプ）・バルブ配管・電気系などの必要機器をコンパクトに収納した、小型の高真空排気装置です。
真空排気装置、真空排気システム、真空排気ユニット、真空排気セットともいう。
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キーワード（メーカー）真空デバイス・大阪真空・佐藤真空・VISTA・アネルバ・アルバック・プロダクトアイ
キーワード（品名）真空蒸着・CVD装置・スパッタ装置・半導体ウェハー・半導体チップ・プリント基板
ドライエッチング装置 ナノテック製<br>型式：NCP-4…
レーザー顕微鏡 キーエンス VK-9510
真空蒸着／スパッタ共用装置 サンユー電子製<br>型…
ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製 5081-[M23041…
恒温恒湿槽 エスペック LHL-114
デジタルリンクアナライザー ANDO製（安藤）<br>型…
非接触形状測定装置 ソニープレシジョン製<br>型式…
スクロールポンプ アルバック製（Ulvac）DIS-251
パーティクルカウンター リオン製<br>型式：KC-01B …
真空蒸着装置 アネルバ EVC-1701
クライオポンプ アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…
スクロールポンプ エドワーズ nXDS10i-[M240628A05]
ドライポンプ 樫山 NeoDry7E
恒温恒湿槽 アドバンテック製 THR040FA-[M240209A1…
反射分光膜厚測定装置 大塚電子 FE-3000
恒温恒湿槽 エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…
DC電源 菊水電子製 型式：PAD16-1000LET （M210303…
ターボ分子ポンプ排気システム ファイファー TSH071
プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…
超純水製造装置 ミリポア製 Mill-Q Integral 5 -[M…
