メーカー：モリエンジニアリング 型式：SFA300EX
MOS-FET RFプラズマ電源 13.56MHz-0.3kW
数kHzから数百kHz程度の周波数で一定電圧を出力する電源として産業分野では焼入れ、電縫管溶接、薄鋼板加熱、及びプラズマ発生、洗浄などで用いられます。
半導体製造や液晶製造、MEMS製造、太陽電池製造、プラズマ洗浄、鉄鋼・鍛造業界などで使用されます。
プラズマ発生用の高周波電源は、高周波電界によりプラズマを励起させることで、プラズマを形成するイオンや電子を加熱することが可能です。高分子材料などの表面に照射することで、官能基の種類を選択したり、表面のラジカル種を制御したりすることで、機能性材料の開発にも利用されます。
マイクロ波・電磁誘導加熱・表面改質・洗浄
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キーワード（メーカー）日本電子・RFテクノロジーズ・ダイヘン・松尾産業・日本高周波・電通産業
キーワード（品名）高周波電源・プラズマ電源・スパッタ電源・RF電源・パルス電源・スパッタリング・マッチングボックス
