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  1. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター 日本レーザー電子 NL-OPC60N

  2. 恒温恒湿槽 エスペック LHL-114 

  3. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置 テクノビジョン UV-312

  4. 真空蒸着機 日本電子(JEOL) JEE-420T

  5. ドライポンプ 樫山 NeoDry-30E

  6. オートグラフ(精密万能試験機)島津製作所 AGS-X, 10N – 10kN

  7. ドラフトチャンバー ヤマト科学 MS-70

  8. 表面性試験機 HEIDON TYPE:14FW

  9. イオンスパッタ装置 日立ハイテク E-1045

  10. 反射分光膜厚測定装置 大塚電子 FE-3000 

  11. 真空蒸着装置 アネルバ EVC-1701

  12. オートファインコーター(スパッタ装置)日本電子(JEOL) JFC-1300

  13. カーボンコーター 日本電子(JEOL) JEC-530

  14. ロータリーポンプ・アルバック・D-950DK・M210108A26

    ロータリーポンプ アルバック製 D-950DK

  15. レーザー顕微鏡 キーエンス VK-9510

  16. 中真空用バキュームゲージ 岡野製作所 AVG134C11

  17. 電離真空計 イオンゲージ アネルバ M-923HG

  18. 電離真空計 イオンゲージ アルバック GI-TL3

  19. 圧縮空気温度調節装置 ナノサーモ オリオン機械 ACU600-MD

  20. ダイアフラム式真空ポンプ アルバック機工 DAU-100