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  1. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-500B

  2. スパッタ装置（3元多層式）　アネルバ　L-250S-FH

  3. ウェハーマウンター　日東電工　M286N

  4. 遠心エバポレーター　アズワン　CVE-2AS

  5. 恒温恒湿槽　エスペック　PR-3J

  6. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-1J

  7. EPMA 電子線マイクロアナライザー　島津製作所　EPMA-1610

  8. スピンコーター　アクティブ　ACT-220AⅡ

  9. ロータリポンプ　エドワーズ　E2M40

  10. FE-SEM 走査型電子顕微鏡　JEOL 日本電子　JSM-6700F

  11. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-4KP

  12. ダイサー　ディスコ　DAD522

  13. 恒温恒湿槽　ナガノサイエンス　NST-S800

  14. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-250C

  15. スピンコーター　エイブル　ASS-303

  16. 走査電子顕微鏡（卓上SEM）日立ハイテク　Miniscope TM3000

  17. 恒温恒湿槽　エスペック　LHL-114　

  18. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジョン　UV-312

  19. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – [M241128A01]

  20. イオンスパッタ装置　JEOL製（サンユー電子）型式：JFC-1500-[M220930A02]

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