mirai

  1. ターボ分子ポンプ 島津製作所 TMP-803LM(O)

  2. ターボ分子ポンプ エドワーズ nEXT 240DL

  3. ターボ分子ポンプ PFEIFFER HiPace 300/TC110

  4. 真空乾燥機 アズワン AVO-310V

  5. RF電源 ノダRFテクノロジーズ NR1N-15B

  6. マグネトロン真空ゲージ エドワーズ AIM-XL-NW25

  7. 蒸着装置 – カーボンコーター JEOL – 日本電子 JEC-560

  8. エリプソメーター 溝尻光学工業 DVA-36L3

  9. 電気炉 石塚電機製作所 37825

  10. 空冷チラー(冷却水循環装置)EYELA製(東京理化器械)
    CA-1115 A

  11. ローラーラビング装置 プレマテック製 RMO1-1

  12. リンサードライヤー VERSATILE ST270

  13. 高温恒温槽(イナートオーブン) ヤマト科学 DN-43Hi

  14. スピンコーター ミカサ製 1H-360S

  15. イオンクリーナー 日本電子製(JEOL)型式:JIC-410

  16. オートファインコーター(AUTO FINE COATER)_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター 日本電子製(JOEL)JFC-1600

  17. プラズマ処理装置(親水化処理装置)JEOL製(日本電子)HDT-400 [M221221A07]

  18. イオンミリング装置 日立製(HITACHI)E-3500

  19. クイックコーター(スパッタ装置)サンユー電子製 SC-701-AT

  20. ツインコーター JEOL製(日本電子)JEC-550 – [M220930A01]