RO純水製造装置

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  10. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900
  1. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

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  2. RF電源　ADVANCED ENERGY　MDX pinnacle 10kW

  3. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  4. ドラフトチャンバー　オリエンタル技研　RCG-ST-1200E

  5. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  6. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  7. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  8. マッチングコントローラー　AS-TECH　RC-11
  9. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  10. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…
2026年6月
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