RO純水製造装置

  1. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  2. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  3. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114

  4. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-95…

  5. 超低温フリーザー　パナソニック　MDF-1156AT-[M2411…

  6. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  7. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  8. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…
  9. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製　E-1010

  10. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  1. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  2. オートファインコーター（スパッタ装置）日本電子(JE…

  3. 露光装置　日本電池　MAN250NLJ/MRL250SM

  4. デジタル・エレクトロメーターDIGTAL ELECTROMETER　…

  5. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　TMH261/TC600
  6. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…
  7. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  8. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKE-1…

  9. ロータリポンプ　エドワーズ　E2M40

  10. 真空凍結乾燥機　日本フリーザー　BFD-6F2
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