1. EB電源・日本電子(JEOL)・JRF-750(M210108A28)

    EB電源・日本電子(JEOL)・JRF-750
    (M210108A28)

    • 真空コンポーネント
    • EB電源
  2. マッチングボックス・日本電子(JEOL)・EH-MN01A(M210108A29)

    マッチングボックス・日本電子(JEOL)・EH-MN01A
    (M210108A29)

    • 真空コンポーネント
    • マッチングボックス
  3. クイックコーター・サンユー電子・SC-701C(M201126A04)

    クイックコーター・サンユー電子・SC-701C
    (M201126A04)

    • 真空装置
    • クイックコーター
  4. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400(M210108A04)

    ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400
    (M210108A04)

    • 真空装置
    • ドライエッチング装置
  5. 樹脂材料タンク・松井製作所・TA-95L(M201223A02)

    樹脂材料タンク・松井製作所・TA-95L
    (M201223A02)

    • ユーティリティ設備
    • 樹脂材料タンク
  6. 樹脂吸引輸送装置・松井製作所・JL4-5VC-J

    樹脂吸引輸送装置・松井製作所・JL4-5VC-J
    (M201223A04)

    • ユーティリティ設備
    • 樹脂吸引輸送装置
  7. エアーコンプレッサー(スクロールコンプレッサー)・コベルコ・ES15AD-5 II(M210126A01)

    エアーコンプレッサー(スクロールコンプレッサー)・コベルコ・ES15AD-5 II
    (M210126A01)

    • ユーティリティ設備
    • エアーコンプレッサー
  8. ヘリウムコンプレッサー(クライオコンプレッサー)・アルバック・C30V(M210108)

    ヘリウムコンプレッサー(クライオコンプレッサー)・アルバック・C30V
    (M210108A21)

    • ユーティリティ設備
    • ヘリウムコンプレッサー
  9. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U22H・M210108A34

    クライオポンプ・アルバック・CRYO-U22H
    (M210108A34)

    • 真空ポンプ
    • クライオポンプ
  10. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H
    (M210320A04)

    • 真空ポンプ
    • クライオポンプ