ダイシング装置

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  2. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

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  5. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  6. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　TMH521/TC600

  7. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  8. オゾンガスモニター　APPLICS　OZG-EM-010K

  9. スクリュウーコンプレッサー　コベルコ技研　SUKESAN…

  10. ターボ分子ポンプ　BOC EDWARDS　STP-300
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