ダイシング装置

  1. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  2. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  3. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-95…
  4. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…
  5. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  6. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  7. 高温恒温槽　ハイテンプオーブン – エスペック…

  8. オイルフリースクロールコンプレッサー　コベルコ　E…

  9. 光学ステージ　各種取り扱い　シグマ光機　駿河精機…

  10. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  1. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  2. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  3. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…
  4. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  5. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  6. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  7. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  8. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110
  9. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…
  10. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…
2026年5月
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