mirai

  1. 超音波洗浄機　ブランソニック製（ヤマト科学）8510J-DTH [M240209A15]

  2. 冷却水循環装置（空冷チラー）EYELA製（東京理化器械）CA-2600-[M220318A11]

  3. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　SC-701
  4. チラー（冷却水循環装置）・EYELA（東京理化機械）・CA-1115

    チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化機械）
    型式：CA-1115 （M200408A04）

  5. 多関節産業ロボット（6軸）三菱電機製　型式RV-12SDC-S300 [M220528A15]

  6. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 200iD/7L [M230906A01]

  7. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）
    型式：JEE-400

  8. イオンミリング装置　日立製（HITACHI）E-3500 [M230325A05]

  9. ナノインプリント装置　三井電気精機製　TM-NP04-2型 -[M221226A01]

  10. VUV真空キュア装置（真空紫外光硬化装置）TOSKYトスキー製　型式：UVR-200

  11. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX1000 -[M221125A01]

  12. ワイヤーボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式SPB-DB668

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