HAST装置

  1. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  2. オイルフリースクロールコンプレッサー　コベルコ　E…

  3. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  4. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  5. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  6. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…
  7. クリーンベンチ_日立_PCV1915BE2

    クリーンベンチ　日立製<br>型式；PCV1915BE2 （M210…

  8. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  9. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7
  10. パーティクルカウンター_リオン_KC-01B

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KC-01B …

  1. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  2. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  3. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  4. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  5. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  6. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  7. オートファインコーター（スパッタ装置）日本電子(JE…

  8. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  9. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400
  10. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…
2026年4月
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