HAST装置

  1. VOCセンサー　理研計器　VOC-121H

  2. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  3. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  4. レーザー装置-YAGレーザー　Spectra Physics　Millen…

  5. 超低温フリーザー　パナソニック　MDF-1156AT-[M2411…

  6. 超音波洗浄装置-2層式　カイジョー　HCW-202-25R

  7. オイルフリースクロールコンプレッサー　コベルコ　E…

  8. スパッタ装置（3元多層式）　アネルバ　L-250S-FH

  9. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  10. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…

  1. 電気マッフル炉　島津製作所　MP-15

  2. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  3. 走査電子顕微鏡（卓上SEM）日立ハイテク　Miniscope …

  4. マイクロ波発振器／電源　IDX　IMG-5202B

  5. スピンコーター　アクティブ　ACT-220AⅡ

  6. 高度加速寿命試験装置（HAST装置）エスペック　EHS-4…
  7. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  8. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  9. 複合ガス検知器　MultiRAE IR（Multi-GAS MONITOR）…

  10. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…
2026年10月
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