mirai

  1. マイクロ波発振器／電源　IDX　IMG-5202B

  2. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-500B

  3. スパッタ装置（3元多層式）　アネルバ　L-250S-FH

  4. ウェハーマウンター　日東電工　M286N

  5. 遠心エバポレーター　アズワン　CVE-2AS

  6. 恒温恒湿槽　エスペック　PR-3J

  7. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-1J

  8. EPMA 電子線マイクロアナライザー　島津製作所　EPMA-1610

  9. スピンコーター　アクティブ　ACT-220AⅡ

  10. ロータリポンプ　エドワーズ　E2M40

  11. FE-SEM 走査型電子顕微鏡　JEOL 日本電子　JSM-6700F

  12. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-4KP

  13. ダイサー　ディスコ　DAD522

  14. 恒温恒湿槽　ナガノサイエンス　NST-S800

  15. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-250C

  16. スピンコーター　エイブル　ASS-303

  17. 走査電子顕微鏡（卓上SEM）日立ハイテク　Miniscope TM3000

  18. 恒温恒湿槽　エスペック　LHL-114　

  19. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジョン　UV-312

  20. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – [M241128A01]

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