mirai

  1. ドラフトチャンバー　オリエンタル技研　RCG-ST-1200E

  2. チラー 冷却水循環装置　アズワン　LCT-450A

  3. エリプソメーター　GAERTNER　L115 D

  4. バラトロン真空計　MKS　627D-28780

  5. プラズマクリーナー　サムコ　PC-300

  6. 卓上型クリーンブース　アズワン　ピュアスペースPS01-A

  7. パルスユニット　アルバック　A2KH-25

  8. 四重極質量分析計（Q-MASS）　ファイファー　 QME200

  9. ターボ分子ポンプ　LEYBOLD　MAG2000／MAG.DRIVE 2000（コントローラー／接続ケーブル　セット品）

  10. ターボ分子ポンプ　大阪真空　TG1003VW／TC1003（コントローラー／接続ケーブル　セット品）

  11. ターボ分子ポンプ　LEYBOLD　TURBOVAC 361　（コントローラー／接続ケーブル　セット品）
  12. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本電子製（JOEL）JFC-1600

  13. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL – 日本電子　IB-09020CP

  14. RF電源　高周波電源　アドバンスエナジー　RFX-600A

  15. コーティング装置　SONO-TEK　DES3000

  16. プログラムフリーザー　低温水槽　FUJIHIRA　ET-1N

  17. 真空オーブン　ヤマト科学　ADP200

  18. 検査用光源ユニット　ウシオ電機　Optical Modulex　SX-UI501MQQ/BA-M500

  19. ターボ分子ポンプ　BOC EDWARDS　STP-300

  20. マッチングコントローラー　AS-TECH　RC-11

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