四重極質量分析計

  1. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  2. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020-[M22…

  3. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  4. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  5. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  6. 真空オーブン　ヤマト科学　ADP200

  7. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-250C
  8. ドライポンプ／メカブポンプ・樫山／アルバック・SD60V II／PMB001CM

    ドライポンプ／メカブポンプ　樫山製／アルバック製<…

  9. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  10. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…
  1. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…
  2. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  3. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  4. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  5. 四重極質量分析計（Q-MASS）　ファイファー　 QME200

  6. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  7. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-1J

  8. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  9. プログラムフリーザー　低温水槽　FUJIHIRA　ET-1N

  10. 「HAST装置」高度加速寿命試験装置　エスペック　EHS…
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