四重極質量分析計

  1. 超低温フリーザー　パナソニック　MDF-1156AT-[M2411…

  2. スパッタ装置（3元多層式）　アネルバ　L-250S-FH
  3. ドライポンプ／メカブポンプ・樫山／アルバック・SD60V II／PMB001CM

    ドライポンプ／メカブポンプ　樫山製／アルバック製<…

  4. ヒュームフード（ドラフトチャンバー）ヤマト科学　M…

  5. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  6. イナートオーブン　エスペック　IPHH-202M-[M250215A…

  7. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  8. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B

  9. 高温恒温槽　ハイテンプオーブン – エスペック…

  10. クイックコーター　サンユー電子　SC-701

  1. VOCセンサー　理研計器　VOC-121H

  2. 液晶重ね合わせ装置　中央精機　LCM-ST

  3. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …
  4. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  5. リアルタイムスペクトラムアナライザ　テクトロニク…

  6. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  7. サーモカップル真空計　アネルバ　MTG-012

  8. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  9. 走査電子顕微鏡（卓上SEM）日立ハイテク　Miniscope …

  10. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…
2026年6月
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