四重極質量分析計

  1. ヒュームフード（ドラフトチャンバー）ヤマト科学　M…

  2. RO純水製造装置　東洋紡エンジニアリング　TRO-60A

  3. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]

  4. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…

  5. スパッタ装置（3元多層式）　アネルバ　L-250S-FH

  6. 恒温槽　エスペック　PH-402

  7. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  8. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  9. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…

  10. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  1. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  2. 超音波洗浄装置　カイジョー　HCW-111-25

  3. 連続式リフロー炉　グローバル　AFD-101A
  4. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  5. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  6. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  7. RF電源　高周波電源　アドバンスエナジー　RFX-600A

  8. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  9. スクリュウーコンプレッサー　コベルコ技研　SUKESAN…

  10. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E
2026年10月
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